1、导航图：
一键式操作快速进行3D图像自动拼接，可以依据样品特性选择按行列数、需要拼接长度或者设置拼接起点和终点位置三种拼接模式，在低倍率下扫描样品，生成Map导航图，高倍率下可以快速定位观察位置，进行3D形貌分析。让您不在分析过程中丢失视野，即使倍率放大后，系统也会在导航图中显示当前视野的所在位置。

2、3D显微镜自动化：
由显微成像系统、平台运动控制系统、PC工作站及专业级软件系统构成。可在低人工干预的情况下实现采集、量测、分析一键式完成。减少了人工干预带来的人为误差，有效地提升了监测效率，配合数据互联平台，可将数据实时传输至客户的MES系统，进一步提升数据处理效率。

3、3D图像采集：
克服传统显微镜视野和景深问题，能得到产品三维形貌并对其进行3D数据分析。

4、移动效率：
XY采用线性电机驱动平台，比普通丝杆传动平台运动速度快3倍以上

5、测量精准：
XYZ三轴均内置0.1um高精度光栅尺，可实现高 精度定位,配合先进的图像算 法，为精准测量提供有力保证

5、6、电动物镜转换器：
XYZ三轴均内置0.1um高精度光栅尺，可实现高 精度定位,配合先进的图像算 法，为精准测量提供有力保证