产品简介
平整度工作原理：被测工件（置于工作台上）由视觉镜头搭载相机，对被测量表面进行对位，获取各点坐标值经过光谱共焦线激光，对被测零件表面进行扫描拼接，采用几何测量软件对零件高度数据进行拟合计算，输出平整度，平面度，翘曲度，高度差，V卡深度等数据，同时可以测量二维平面表面各种几何尺寸和形位公差。
产品优势
1.采用龙门式结构，“00”级花岗石底座、立柱、工作台，长期使用保证基准面不变形，保证机械系统极高的稳定性。
2.采用日本进口导轨和研磨丝杆，保证仪器最小机构误差，保证整机测量精度。
3.选择高强度真空吸附平台，三轴松下伺服电机。
4.高精度线扫激光：
参考距离(CD)① |
60mm |
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Z轴高度(FS) |
8.5mm |
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X轴宽度 |
近端 |
16mm |
参考距离 |
17mm |
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远端 |
17.6mm |
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Z轴重复精度② |
0.15μm |
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X轴重复精度 |
1.5μm |
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X轴数据间隔 |
5.5μm |
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Z轴线性度 |
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X轴轮廓点数 |
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反射角度(°) |
35 |
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扫描速度(Hz) |
3200-67000 |
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整机参数
仪器型号 |
YVM-322CNCJ |
YVM-432CNCJ |
YVM-542CNCJ |
测量行程（mm） |
300x200x200 |
400x300x200 |
500x400x200 |
外形尺寸（mm） |
760x650x1100 |
860x750x1100 |
960x850x1100 |
玻璃承重（kg） |
40 |
40 |
40 |
仪器重量（kg） |
280 |
320 |
380 |
测量精度 |
X,Y：（2.5+L/200）μm Z：小于等于：5um（激光量程范围） |
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重复精度 |
2μm |
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光栅尺分辨率 |
0.5μm |
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放大倍率 |
影像放大倍率20～200X |
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光源 |
表面光：5环 8 区 LED 冷光源，256 级亮度可调 |
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真空吸附 |
超过精度真空吸附平台 |
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操作方式 |
鼠标+摇杆控制 |
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电源 |
220V（AC） 50Hz |
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应用领域
油墨到绿油基面高度和平面度
FPC平面度
电感器
电容器
二极管
光学元件
航空航天零部件
金手指
汽车零部件
